[发明专利]生长炉用坩埚托盘及生长炉在审
| 申请号： | 201910852798.5 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN110453291A | 公开（公告）日： | 2019-11-15 |
| 发明（设计）人： | 冯祥雷 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 11112 北京天昊联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒<国际申请>=<国际公布> |
| 地址： | 100176北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种生长炉用坩埚托盘及生长炉，该生长炉用坩埚托盘包括托盘本体、调节底托、第一调节件、第二调节件，其中，调节底托设置于托盘本体的底部，用于承载托盘本体；第一调节件为多个，均设置于调节底托上，并沿调节底托的周向分布；第二调节件也为多个，均设置于调节底托中，且与第一调节件一一对应地设置；第一调节件的一端与托盘本体的底面接触，另一端抵住第二调节件；第二调节件可在调节底托中平移，进而驱使第一调节件沿竖向移动，从而托着托盘本体升降，以调平托盘本体。应用本发明，可以实现从侧面对托盘本体及托盘本体上坩埚的水平度进行调节，使得坩埚水平度的调节过程更加简单、操作更加方便。 | ||
| 搜索关键词： | 托盘本体 底托 生长炉 坩埚托盘 水平度 坩埚 承载托盘 竖向移动 周向分布 平移 抵住 底面 调平 升降 侧面 应用 | ||
【主权项】：
1.一种生长炉用坩埚托盘，其特征在于，包括：托盘本体、调节底托、第一调节件、第二调节件，其中，/n所述调节底托设置于所述托盘本体的底部，用于承载所述托盘本体；/n所述第一调节件为多个，均设置于所述调节底托上，并沿所述调节底托的周向分布；所述第二调节件也为多个，均设置于所述调节底托中，且与所述第一调节件一一对应地设置；所述第一调节件的一端与所述托盘本体的底面接触，另一端抵住所述第二调节件；所述第二调节件可在所述调节底托中沿所述调节底托的径向水平移动或与水平方向成一定角度移动，进而驱使所述第一调节件沿竖直方向移动或与竖直方向呈一定角度移动，从而托着所述托盘本体升降，以调平所述托盘本体。/n
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