[发明专利]一种酸性蚀刻液循环再生工艺有效
| 申请号： | 201910853156.7 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN111394726B | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 陈仁华;聂国勇;李建立 | 申请（专利权）人： | 长沙利洁环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/46 | 分类号： | C23F1/46;C23F1/18;B01D53/78;B01D53/68 |
| 代理公司： | 长沙优企知识产权代理事务所(普通合伙) 43243 | 代理人： | 刘佳芳 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种酸性蚀刻液循环再生工艺，使用酸性蚀刻液循环再生系统，包括蚀刻线（4）、电解槽（30）、循环槽（20）、氯气吸收回用塔（10）、母液储备桶（5）和再生液储备桶（6）。具体工艺步骤如说明书所述。本发明的工艺通过所述系统的设置，以及系统中各部件的工艺参数控制，很好的实现了蚀刻废液的在线循环与再生，自动化程度高，系统操作维护简单，在安装调试中不影响生产，零排放，保护环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 酸性 蚀刻 循环 再生 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
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