[发明专利]一种超衍射极限焦斑阵列生成装置

摘要

本发明公开了一种超衍射极限焦斑阵列生成装置。该装置使激发光束或交联光束经过相位调制，从而在样品面产生实心焦斑阵列；使淬灭光束或去交联光束经过相位调制，从而在样品面产生空心焦斑阵列，并使这两个焦斑阵列对准，最终在样品面上产生超衍射极限的焦斑阵列。上述过程由于是通过相位调制的方式产生焦斑阵列，所以生成的焦斑数量可以为任意多个，从而实现高通量的超分辨成像与激光直写，与已有的方法相比，本发明所公开的系统可以进行高速并行超分辨成像与激光直写。

主权项

1.一种超衍射极限焦斑阵列生成装置，其特征在于，包括：/n第一光源模块、第一反射镜、第一光调制模块、第一透镜、第二透镜、第二反射镜、第二光源模块、第三反射镜、第二光调制模块、第三透镜、第四透镜、第一二色镜、第一振镜、第二振镜、扫描透镜、第五透镜和第二二色镜；/n第一光源模块发出准直左旋圆偏振光，经第一反射镜入射到第一光调制模块，经其相位调制后，再经第一透镜、第二透镜、第二反射镜入射到第一二色镜表面，经第一二色镜表面反射，再经第一振镜、第二振镜、扫描透镜、第五透镜聚焦至样品，此光束为第一光束，此光束在样品上形成空心焦斑阵列；/n第二光源模块发出准直光，经第三反射镜入射到第二光调制模块，经其相位调制后，再经第三透镜、第四透镜、再经第二二色镜透射，到达第一二色镜，经第一二色镜透射，再经第一振镜、第二振镜、扫描透镜、第五透镜聚焦至样品，此光束为第二光束，此光束在样品上形成实心焦斑阵列；/n第一光束的空心焦斑阵列与第二光束的实心焦斑阵列在样品上重合，从而生成超衍射极限焦斑阵列。/n