[发明专利]一种基于模态局部化效应的可调微质量传感器有效
| 申请号： | 201910853942.7 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN110702555B | 公开（公告）日： | 2022-02-25 |
| 发明（设计）人： | 赵剑;吕明;刘蓬勃 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02;G01G17/00 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 李馨 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于模态局部化效应的可调微质量传感器，其特征在于，包括：第一固支梁，置于上方，其两端通过第一固定端固定；第二固支梁，置于第一固支梁下方，其两端通过第二固定端固定；其中，第一固支梁与第二固支梁之间通过耦合电极实现静电耦合，第二固支梁通过固定激励电极调节驱动力的大小；第一固支梁与第二固支梁的长度均可变且二者非等长。本发明通过调节耦合电极间的静电刚度，实现传感器灵敏度、探测范围和分辨率的在线调整。本发明具有更高的灵敏度，并且可以弥补制造误差产生的影响，可用于微生物、微颗粒等检测，具有高灵敏度，鲁棒性强等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 局部 效应 可调 质量 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种基于模态局部化效应的可调微质量传感器，其特征在于，包括：/n第一固支梁，置于上方，其两端通过第一固定端固定；/n第二固支梁，置于所述第一固支梁下方，其两端通过第二固定端固定；/n其中，所述第一固支梁与所述第二固支梁之间通过耦合电极静电耦合，第二固支梁通过固定激励电极调节驱动力；/n所述第一固支梁与所述第二固支梁的长度均可变且二者非等长。/n
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