[发明专利]一种基于共振腔的横向电流限制高效率发光二极管有效
| 申请号： | 201910854095.6 | 申请日： | 2019-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN110620169B | 公开（公告）日： | 2020-08-28 |
| 发明（设计）人： | 李建军;王军 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | H01L33/10 | 分类号： | H01L33/10;H01L33/14;H01L33/38;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 刘萍 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种基于共振腔的横向电流限制高效率发光二极管，属于半导体电子领域。从上而下包括上电极、上布拉格反射镜、谐振腔、下布拉格反射镜、衬底、下电极。其中上电极由压焊上电极与电流扩展上电极组成；上、下布拉格反射镜由低折射率材料层与高折射率材料层交替构成，其底部一层为上DBR易氧化材料层；有源区位于谐振腔中间，其顶部一层为下DBR易氧化材料层；包括上、下扩展电极侧向氧化层、上、下压焊电极侧向氧化层，扩展电极侧向氧化层、以及扩展电极电介质层、压焊电极电介质层。本发明利用侧向氧化层限制电流的横向流动，避免载流子注入到顶电极正下方的有源区中，再结合垂直方向的共振腔结构，可实现效率高、热性能好、辐射波长稳定的二极管发光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 共振 横向 电流 限制 高效率 发光二极管 | ||
【主权项】：
1.一种基于共振腔的横向电流限制高效率发光二极管，其特征在于：从上而下包括上电极(100)、上布拉格反射镜(200)、谐振腔(300)、下布拉格反射镜(400)、衬底(500)、下电极(600)；其中上电极(100)由压焊上电极(101)与电流扩展上电极(102)组成；上布拉格反射镜(200)由低折射率材料层(202)与高折射率材料层(203)交替构成，有源区(301)位于谐振腔(300)中间，下布拉格反射镜(400)由低折射率材料层(402)与高折射率材料层(403)交替构成；所述上布拉格反射镜(200)的底部一层材料层为上DBR易氧化材料层(201)；所述下布拉格反射镜(400)的顶部一层材料层为下DBR易氧化材料层(401)；还包括上扩展电极侧向氧化层(2012)、上压焊电极侧向氧化层(2011)，下扩展电极侧向氧化层(4012)、下压焊电极侧向氧化层(4011)以及扩展电极电介质层(702)、压焊电极电介质层(701)；所述压焊电极电介质层(701)位于压焊上电极(101)下方，与压焊上电极呈T型，其底端伸入到下布拉格反射镜的上部；所述扩展电极电介质层(702)位于电流扩展上电极(102)下方，与电流扩展上电极一起呈T型，其顶端伸入到下布拉格反射镜的上部。/n
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