[发明专利]一种用于微结构的振动辅助磁性磨料抛光装置及方法在审
| 申请号： | 201910856141.6 | 申请日： | 2019-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN112476064A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 谷岩;林洁琼;康洺硕;姜吉军;马连杰;周伟东;段星鑫;付斌;辛成磊;孙恩;刘拓含;李鹏程;孙金鹏;张森;于丰源 | 申请（专利权）人： | 长春工业大学 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B1/04;B24B41/02;B24B47/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于加工微结构的振动辅助磁性磨料抛光装置及方法，属于超精密加工领域。在振动辅助磁性磨料抛光装置中：刀具运动平台与Z向运动导轨连接，微位移振动器与Y向运动导轨连接，强磁铁运动机构与Y向运动导轨连接。该系统在进行抛光加工过程中：强磁铁运动机构与抛光头之间形成动态磁场区域，磁性磨料在动态磁场的作用下形成柔性磁性簇，柔性磁性簇在抛光刀具的带动下与被抛光工件产生相对运动，基于柔顺机构的振动平台使研磨力均匀分布，有效解决了材料堆积、应力集中等问题，以达到精准、均匀、高效的光整加工的效果。本发明可对具有微结构的工件进行抛光，且具有抛光范围大、抛光精度高和可控性好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 微结构 振动 辅助 磁性 磨料 抛光 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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