[发明专利]一种基于电辅助液桥的二维材料转移方法

摘要

一种基于电辅助液桥的二维材料转移方法，先制作由原始基底和二维材料组成的待转移样品，将待转移样品置于下电极上，在上电极下方贴合柔性支撑；在二维材料和原始基底的表面形成第一液体薄膜，控制上电极运动，使柔性支撑与二维材料和原始基底的上表面贴合，形成液桥；在上、下电极之间施加外部电场，使柔性支撑和原始基底上表面分离，二维材料转移到柔性支撑上；然后将原始基底取下，将目标基底置于下电极上，在目标基底上形成第二液体薄膜，使附着有二维材料的柔性支撑与目标基底紧密贴合，形成液桥；最后在上、下电极之间施加外部电场，使柔性支撑和目标基底分离，二维材料转移到目标基底上；本发明实现二维材料的高质量、高效率转移。

主权项

1.一种基于电辅助液桥的二维材料转移方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步：制作并选择待转移二维材料样品，其中待转移样品由原始基底(6)和二维材料(5)组成，通过相关二维材料的表征仪器对所制样品进行表征，选取质量优良的样品作为待转移样品；第二步：将制作好的待转移样品置于下电极(8)之上，在上电极(1)下方贴合柔性支撑(2)；第三步：利用喷雾器在二维材料(5)和原始基底(6)的表面形成一层均匀第一液体薄膜(3)；第四步：通过控制上电极(1)运动，使柔性支撑(2)与二维材料(5)和原始基底(6)的上表面贴合，通过控制上电极(1)的运动距离或上电极(1)对下电极(8)的压力实现对第一液体薄膜(3)厚度的调节，形成液桥，并保持该状态1‑10min；第五步：在上电极(1)、下电极(8)之间施加外部电场，外部电场使柔性支撑(2)和原始基底(6)上表面分离，二维材料(5)转移到柔性支撑(2)上；第六步：将原始基底(6)取下，将目标基底(7)置于下电极(8)上；利用喷雾器在目标基底(7)上形成一层均匀第二液体薄膜(4)，接着使附着有二维材料(5)的柔性支撑(2)与目标基底(7)紧密贴合，保持该状态1‑10min，形成液桥；最后在上电极(1)、下电极(8)之间施加外部电场，外部电场使柔性支撑(2)和目标基底(7)分离，二维材料(5)转移到目标基底(7)上，实现了二维材料(5)从原始基底(6)到目标基底(7)的转移；第七步：使用光学显微镜、扫描电子显微镜、原子力显微镜仪器对转移后的样品进行表征，确定转移质量。