[发明专利]一种多层膜X射线波带片的制备方法有效
| 申请号： | 201910857821.X | 申请日： | 2019-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN110441115B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 孔祥东;姚广宇;李艳丽;董增雅;张炜;韩立 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 张德才 |
| 地址： | 100190 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多层膜X射线波带片的制备方法，具体方法为：将丝状样品垂直固定于样品托侧面；运用FIB切割，只切割丝状样品的多层膜，垂直从上向下将可见部分多层膜切成指定厚度；将样品切割部分用液态胶浸润；通过旋转将未切割的多层膜部分朝上，并将切割好的位置用液态胶接触固定一铜箔，再运用FIB将保留的多层膜两边的多层膜以及中心丝完全切断；利用机械手进行上述步骤切割好的波带片转移；运用FIB沉积技术固定波带片于载网的特定位置；切除机械手，对波带片进行抛光，获得所需制备的波带片；本发明可以实现超薄波带片的制备，可以保护波带片的多层膜，因为有液态胶的保护所以加强了超薄波带片的自支撑能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多层 射线 波带片 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种多层膜X射线波带片的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)、将丝状样品垂直固定于样品托侧面；(2)、运用FIB切割，只切割丝状样品的多层膜，垂直从上向下将可见部分多层膜切成指定厚度；(3)、将样品切割部分用液态胶浸润；(4)、通过旋转将步骤2中未切割的多层膜部分朝上，并将步骤2中切割好的位置用液态胶接触固定一铜箔，再运用FIB将步骤2中保留的多层膜两边的多层膜以及中心丝完全切断；(5)、利用机械手进行上述步骤切割好的波带片转移；(6)、运用FIB沉积技术固定波带片于载网的特定位置；(7)、切除机械手，对波带片进行抛光，获得所需制备的波带片。
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