[发明专利]一种加速度筛选延时MEMS安保装置

摘要

一种加速度筛选延时MEMS安保装置，包括通过键合方式结合到一起的盖板层和器件层，器件层包括置于齿条滑道和衬底滑道中的齿条，齿条和齿轮一侧啮合，齿轮另一侧与卡摆配合，卡摆和惯性锁配合，惯性锁位于惯性锁滑道中；利用硅齿条、硅齿轮及硅卡摆等机构，对硅隔板进行惯性驱动，实现装置的延时性能，提高了安全距离控制精度；利用质量块、硅弹簧及硅卡摆等机构，使质量块在单一方向规定范围的加速度环境下产生规定范围的位移使卡摆可以起摆运动，提高了器件对外界加速度的筛选性，本发明具有机械滤波、高强度、可靠性高、抗过载等特点。

主权项

1.一种加速度筛选延时MEMS安保装置，其特征在于：包括通过键合方式结合到一起的盖板层(100)和器件层(200)，键合后，器件层(200)的硅通孔(205)位于盖板层(100)的滑道观察窗(107)和器件层(200)的衬底滑道(203)内，器件层(200)中安装在硅连接板(221)上方的上镍质量块(222)位于盖板层(100)的盖板质量块安装窗(101)内，安装在硅连接板(221)下方的下镍质量块(223)位于器件层(200)的衬底质量块安装窗(227)内；所述的盖板层(100)中间位置设有卡摆齿轮运动状态观察窗(104)、齿轮轴部观察窗(105)和齿轮齿条运动状态观察窗(106)，盖板层(100)左侧设有盖板质量块安装窗(101)，盖板层(100)右侧设有滑道观察窗(107)，盖板层(100)右上方设有低加速度状态观察窗(102)，盖板层(100)右下方设有高加速度状态观察窗(103)；所述的器件层(200)包括置于齿条滑道(202)和衬底滑道(203)中的齿条(Ⅰ)，齿条(Ⅰ)和齿轮(Ⅱ)一侧啮合，齿轮(Ⅱ)另一侧与卡摆(Ⅲ)配合，卡摆(Ⅲ)和惯性锁(Ⅳ)配合，惯性锁(Ⅳ)位于惯性锁滑道(201)中，惯性锁滑道(201)、齿条滑道(202)设置在器件层外边框(231)上，衬底滑道(203)设置在器件层衬底(232)上。