[发明专利]一种利用废氯气使酸性蚀刻液再生的装置在审
申请号: | 201910859208.1 | 申请日: | 2019-09-11 |
公开(公告)号: | CN110468418A | 公开(公告)日: | 2019-11-19 |
发明(设计)人: | 罗欢 | 申请(专利权)人: | 上海八菱环保科技有限公司 |
主分类号: | C23F1/46 | 分类号: | C23F1/46;C25B15/00 |
代理公司: | 51270 成都瑞创华盛知识产权代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人: | 邓瑞<国际申请>=<国际公布>=<进入国 |
地址: | 201800 上海市嘉*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种利用废氯气使酸性蚀刻液再生的装置,包括反应釜和蚀刻槽,反应釜外壁上设有射流器,反应釜上方设有出气管道,反应釜的下方设有与出液管道,蚀刻槽包括第一蚀刻槽和第二蚀刻槽,出液管道包括第一出液管道和第二出液管道,第一蚀刻槽和第二蚀刻槽分别通过第一出液管道和第二出液管道与反应釜底部连通;第一蚀刻槽和第二蚀刻槽通过管道互相连通;第二蚀刻槽通过输送泵与射流器的液体入口连接,出气管道与废氯气管道与射流器的气体入口连通,本新型通过将电解氯化铜产生的废氯气与酸性蚀刻液的一价铜离子反应,使一价铜离子还原为二价铜离子,从而使酸性蚀刻液能够再生利用,既避免了废氯气污染环境,同时增加了废氯气的经济价值。 | ||
搜索关键词: | 蚀刻槽 出液管道 废氯气 反应釜 酸性蚀刻液 射流器 一价铜离子 出气管道 二价铜离子 反应釜外壁 底部连通 电解氯化 互相连通 气体入口 液体入口 再生利用 输送泵 连通 还原 再生 | ||
【主权项】:
1.一种利用废氯气使酸性蚀刻液再生的装置,包括反应釜(1)和蚀刻槽(2),其特征在于,所述反应釜(1)外壁上设有与反应釜(1)内腔连通的射流器(3),反应釜(1)的上方设有与反应釜(1)内腔连通的出气管道(4),反应釜(1)的下方设有与出液管道(5),所述蚀刻槽(2)通过出液管道(5)与反应釜(1)底部连通。/n
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