[发明专利]一种超高温微型光纤EFPI应变传感器有效
| 申请号： | 201910860203.0 | 申请日： | 2019-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN110631616B | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 李金洋;史青;毛国培;何文涛 | 申请（专利权）人： | 北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司 |
| 主分类号： | G01D5/353 | 分类号： | G01D5/353;G01B11/16;G01K11/32 |
| 代理公司： | 中国航天科技专利中心 11009 | 代理人： | 张辉 |
| 地址： | 100076 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超高温微型光纤EFPI应变传感器，通过采用MEMS工艺制备敏感芯片，与特种光纤装配构成EFPI结构，可有效降低传感器尺寸。同时，针对传统光纤EFPI应变传感器温度、应变交叉敏感问题，该微型光纤EFPI传感器通过引入固体EFPI腔进行温度测量，具备有温度自补偿能力，在使用时无需额外布设温度传感器，大幅简化了应用复杂程度。本发明应变传感器可应用于800℃以上超高温环境、狭窄区域内的接触式应变测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超高温 微型 光纤 efpi 应变 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种超高温微型光纤EFPI应变传感器，其特征在于：包括敏感芯片(1)、特种光纤(2)、光纤耦合装置(3)和传输光纤(4)；/n敏感芯片(1)采用耐高温材料，通过MEMS工艺制备得到，敏感芯片(1)由芯片基底(1-1)和芯片盖板(1-2)键合而成，芯片基底(1-1)上制备有凹槽(1-3)，用于放置特种光纤(2)；/n特种光纤(2)为耐高温光纤，插入敏感芯片的一端光纤反射端面(2-1)通过光纤垂直切割、抛光制备得到；/n特种光纤(2)另一端通过光纤耦合装置(3)与传输光纤(4)连接；/n传输光纤(4)用于在非高温区域进行光信号传输。/n
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