[发明专利]一种4吋蓝宝石晶体退火方法在审
| 申请号： | 201910861201.3 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110512287A | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 洪洋;宋述远;蔡金荣 | 申请（专利权）人： | 江苏吉星新材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/20 |
| 代理公司： | 32200 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人： | 楼高潮<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 212200 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种4吋蓝宝石晶体退火方法，包括以下步骤：将蓝宝石晶片装入退火炉中，所述退火炉中装载蓝宝石晶片的工装上，对应蓝宝石晶片中间位置可加热升温，退火炉以3‑5℃/min的速率升温至低温区120‑140℃，保温3‑5小时，升温过程中，开启工装上加热片，且保证工装上加热的速率与退火炉的升温速率相同；将经过低温保温后，以8‑12℃/min升温至1200‑1380℃，保温48‑56小时，保温3‑5小时，升温过程中，开启工装上加热片，且保证工装上加热的速率与退火炉的升温速率相同；保温结束后，以1‑3℃/min的速率逐渐降温至室温，即可。该退火方法简单，周期短，退火后晶片质量不受影响，可用于产业化。 | ||
| 搜索关键词： | 退火炉 工装 退火 保温 蓝宝石晶片 升温过程 加热片 加热 蓝宝石晶体 低温保温 蓝宝石 产业化 低温区 可加热 晶片 可用 装入 装载 保证 | ||
【主权项】：
1.一种4吋蓝宝石晶体退火方法，其特征在于，包括以下步骤：/n步骤1，将蓝宝石晶片装入退火炉中，所述退火炉中装载蓝宝石晶片的工装上，对应蓝宝石晶片中间位置可加热升温，退火炉以3-5℃/min的速率升温至低温区120-140℃，保温3-5小时，升温过程中，开启工装上加热片，且保证工装上加热的速率与退火炉的升温速率相同；/n步骤2，将经过低温保温后，以8-12℃/min升温至1200-1380℃，保温48-56小时，保温3-5小时，升温过程中，开启工装上加热片，且保证工装上加热的速率与退火炉的升温速率相同;/n步骤3，保温结束后，以1-3℃/min的速率逐渐降温至室温，即可，且降温过程中旋转工装，保证降温时蓝宝石晶片降温均匀。/n
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