[发明专利]感应线圈组及反应腔室有效
| 申请号： | 201910861309.2 | 申请日： | 2019-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN110416054B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 牛晨;韦刚;苏恒毅;杨京 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种感应线圈组及反应腔室，该感应线圈组包括用于设置在反应腔室的介质窗上方的感应线圈，感应线圈的两端分别为功率输入端和接地端，感应线圈的两端与介质窗之间的垂直间距大于感应线圈的两端之间的部分与介质窗之间的垂直间距。本发明提供的感应线圈组及反应腔室，其可以在保证射频磁场的耦合强度满足要求的前提下，减小感应线圈两端的容性耦合，从而可以降低对介质窗的溅射，改善工艺结果。 | ||
| 搜索关键词： | 感应 线圈 反应 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910861309.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种光模块
- 下一篇：一种预养窑自动加热及开关门方法
