[发明专利]一种冷却导流装置及硅片切割系统在审
| 申请号： | 201910861936.6 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110640922A | 公开（公告）日： | 2020-01-03 |
| 发明（设计）人： | 孙玉虎;李爱国;张阳 | 申请（专利权）人： | 晶海洋半导体材料(东海)有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;B28D7/02;B01D29/03;B01D29/56;B01D19/00 |
| 代理公司： | 44104 广州知友专利商标代理有限公司 | 代理人： | 李海波;高文龙 |
| 地址： | 222300 江苏省连云港市东*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请提供一种冷却导流装置及硅片切割系统，包括：具有出液口的盛液槽；导流板，所述导流板包括导流主板和连接板，通过连接板使所述导流主板与所述盛液槽的出液口倾斜连接；漫液板，所述漫液板设置在所述连接板背离所述盛液槽的底部的一面，并且所述漫液板具有向远离连接板方向的凸起，能够对切割液的流动状态进行控制，降低切割液导流过程中波纹的产生，使得流出的液流为一条直线，从而减少切割液对线网和硅方夹角处的液流冲击，达到降低硅片入刀TTV的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 连接板 切割液 盛液槽 导流 漫液 导流板 主板 冷却导流装置 出液口倾斜 硅片切割 流动状态 液流冲击 板设置 出液口 夹角处 波纹 硅片 对线 凸起 液流 流出 背离 申请 | ||
【主权项】：
1.一种冷却导流装置，用于硅片切割过程中冷却液的导流，其特征在于，包括：/n具有出液口(71)的盛液槽(7)；/n导流板(8)，所述导流板(8)包括导流主板(82)和连接板(81)，通过连接板(81)使所述导流主板(82)与所述盛液槽(7)的出液口倾斜连接；/n漫液板(5)，所述漫液板(5)设置在所述连接板(81)背离所述盛液槽(7)的底部的一面，并且所述漫液板(5)具有向远离连接板(82)方向的凸起。/n
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