[发明专利]一种基于纳米盘结构的多波段滤光传感器及其制备方法

摘要

本发明公开了一种基于纳米盘结构的多波段滤光传感器，包括基底电路层，所述基底电路层上设置有电连接的光敏器件层，所述光敏器件层上设置有滤光结构层，所述滤光结构层上设置平坦层；所述滤光结构层由纳米盘阵列组成，所述纳米盘阵列包括多个子阵列，各子阵列包括多个纳米盘，相同子阵列内的纳米盘具有相同的直径和周期，不同子阵列中的纳米盘具有不同的直径和周期。利用氢化非晶硅纳米盘结构实现了彩色滤光，兼容异质基底上以及CMOS工艺，可直接在现有CMOS图像晶圆上沉积薄膜，制备工艺简单，非晶硅纳米盘结构利用的是米氏散射实现电偶极子和磁偶极子的共振，通过改变纳米盘几何参数可实现特定波长的光的选择，波长选择灵活，可以实现多波长滤光。

主权项

1.一种基于纳米盘结构的多波段滤光传感器，其特征在于：包括基底电路层(1)，所述基底电路层(1)上设置有电连接的光敏器件层(2)，所述光敏器件层(2)上设置有滤光结构层(3)，所述滤光结构层(3)上设置平坦层(4)；所述滤光结构层(3)由纳米盘阵列组成，所述纳米盘阵列包括多个子阵列(31)，各子阵列(31)包括多个纳米盘，相同子阵列(31)内的纳米盘具有相同的直径和周期，不同子阵列(31)中的纳米盘具有不同的直径和周期；在所述平坦层(4)上还设置有微透镜阵列(5)。