[发明专利]一种基于钛酸锶钡纳米管结构的电容/阻抗式湿度传感器在审
| 申请号： | 201910862184.5 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110702738A | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 吴瀚舟;汪尧进;倪菲儿;黄锴;王新月 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01N27/02 | 分类号： | G01N27/02;G01N27/22;B82Y15/00;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 32203 南京理工大学专利中心 | 代理人： | 赵毅 |
| 地址： | 210094 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于钛酸锶钡纳米管薄膜结构的湿度传感器。该基于纳米管结构的钛酸锶钡湿度传感器依次由底电极，云母基片，钛酸锶钡纳米管薄膜和插指状顶电极组成。本发明的湿度传感器，以云母基片作为衬底，其透光性好，为今后器件的透明化提供可能；且云母基片柔性耐弯折，使器件具有一定的柔性。以钛酸锶钡纳米管薄膜作为湿度感知材料，其响应灵敏，在湿度15％～95％的变化区间阻抗和电容均可产生较大的变化，在基于纳米结构材料的湿度传感器中有较为广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 湿度传感器 钛酸锶钡 纳米管薄膜 云母基片 纳米结构材料 纳米管结构 变化区间 湿度感知 响应灵敏 插指状 底电极 顶电极 耐弯折 透光性 透明化 电容 衬底 阻抗 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于钛酸锶钡纳米管薄膜结构的湿度传感器，其特征在于，所述湿度传感器依次由Ag底电极，云母或PET基片，钛酸锶钡纳米管薄膜和网状Ag顶电极组成。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京理工大学，未经南京理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910862184.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
