[发明专利]一种硅烷气相热分解制备高纯度纳米级硅粉的方法以及装置有效
| 申请号： | 201910863591.8 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110526248B | 公开（公告）日： | 2021-05-07 |
| 发明（设计）人： | 郑安雄;栗广奉;张鹏飞;范金立;吴前程 | 申请（专利权）人： | 浙江中宁硅业有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/027 | 分类号： | C01B33/027 |
| 代理公司： | 衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙) 33282 | 代理人： | 高永志 |
| 地址： | 324000 浙江省衢州*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及硅粉制备技术领域，尤其是涉及一种硅烷气相热分解制备高纯度纳米级硅粉的方法以及装置。本发明的技术方案是这样实现的：一种硅烷气相热分解制备高纯度纳米级硅粉的装置，其特征在于：根据制备顺序依次包括预热釜、气相热分解箱、硅粉收集装置、过滤装置以及氢气冷却器；本发明所提出的硅粉制备方法具有步骤简单、生产高效、产品质量高等优点，本发明所提出的硅粉制备的装置具有结构简单，便于操作，生产效率高以及节能等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 气相热 分解 制备 纯度 纳米 级硅粉 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种硅烷气相热分解制备高纯度纳米级硅粉的方法，包括如下步骤：/nS1：预热：将原料硅烷运送到预热釜中，进行预热；/nS2：气相热分解：将经过预热之后的原料运输至气相热分解箱中，利用气相热分解箱带来的急热、急冷的加热方式对原料进行加热、分解以及硅粉沉淀；/nS3：硅粉收集：经过急热、急冷处理的能直接沉淀的硅粉通过硅粉收集装置收集，而不能直接沉淀会跟随氢气一同跑出的硅粉通过硅粉过滤箱和硅粉收集装置收集；/nS4：硅粉包装：硅粉收集装置中的硅粉通过包装机进行包装；/nS5：氢气处理：制备过程中产生的氢气，首先通过冷却器冷却降温，降低氢气的流速，然后用于燃烧产热。/n
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