[发明专利]一种基于迈克尔逊结构的高精度测角装置及测角方法有效
| 申请号： | 201910864475.8 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110631510B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 赵怀学;周艳;田留德;刘锴;潘亮;曹昆 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 郑丽红 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于迈克尔逊结构的高精度测角装置及测角方法，解决现有测角装置测量精度较低的问题。该测角装置包括激光光源、会聚镜、缩束镜、分光棱镜、第一准直镜、第一平面反射镜、第二准直镜、第二平面反射镜、探测器和计算机；激光光源经会聚镜整形后，通过星点板入射至缩束镜，再经分光棱镜分为两路，一路被分光棱镜反射会聚于第一准直镜焦面；另一路被分光棱镜透射至第一平面反射镜，透射光经第一平面反射镜反射后，再次经分光棱镜反射至第二准直镜，反射光通过第二准直镜后入射至第二平面反射镜，经第二平面反射镜反射后，成像于第一准直镜焦面，第一平面波和第二平面波在探测器靶面干涉，计算机及与探测器连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 迈克 结构 高精度 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于迈克尔逊结构的高精度测角装置，其特征在于：包括激光光源(1)、会聚镜(2)、缩束镜(3)、分光棱镜(4)、第一准直镜(5)、第一平面反射镜(7)、第二准直镜(8)、第二平面反射镜(9)、探测器(6)和计算机(10)；/n所述激光光源(1)经会聚镜(2)整形后，通过星点板入射至缩束镜(3)，再经分光棱镜(4)分为两路，一路被分光棱镜(4)反射会聚于第一准直镜(5)焦面，通过第一准直镜(5)后转为第一平面波；另一路被分光棱镜(4)透射至第一平面反射镜(7)，透射光经第一平面反射镜(7)反射后，再次经分光棱镜(4)反射至第二准直镜(8)，反射光通过第二准直镜(8)后入射至第二平面反射镜(9)，经第二平面反射镜(9)反射后，成像于第一准直镜(5)焦面，通过第一准直镜(5)后转为第二平面波，第一平面波和第二平面波在探测器(6)靶面干涉，计算机(10)及与探测器(6)连接，对干涉条纹进行处理得到第二平面反射镜(9)与第二准直镜(8)光轴的夹角。/n
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