[发明专利]MOEMS二分量加速度传感器、测量系统及工作方法有效
| 申请号： | 201910865799.3 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110683506B | 公开（公告）日： | 2022-02-08 |
| 发明（设计）人： | 王正方;苗晓坤;王静;隋青美;贾磊;王汉鹏 | 申请（专利权）人： | 山东大学 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81B7/00;B81B7/02;B81C1/00;G01P15/03 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 张庆骞 |
| 地址： | 250061 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本公开提供一种MOEMS二分量加速度传感器、测量系统及工作方法。其中，MOEMS二分量加速度传感器包括硅基振动敏感结构，其包括硅微质量块，硅微质量块的四个端点分别与一梯形结构的蛇形悬臂梁相连；硅微质量块的四个端点在同一平面内且构成的两条斜对角线相互垂直；光子晶体波导结构，设置在硅微质量块的顶端，与硅微质量块不接触；光子晶体波导结构的输入端与光源相连，输出端与信号解调模块相连；移动硅基部件，其一端位于光子晶体波导结构的中间空气介质层的中心位置，另一端连接在硅微质量块的顶端中心位置。 | ||
| 搜索关键词： | moems 分量 加速度 传感器 测量 系统 工作 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MOEMS二分量加速度传感器，其特征在于，包括：/n硅基振动敏感结构，其包括硅微质量块，硅微质量块的四个端点分别与一梯形结构的蛇形悬臂梁相连；硅微质量块的四个端点在同一平面内且构成的两条斜对角线相互垂直；/n光子晶体波导结构，其设置在硅微质量块的顶端，且与硅微质量块不接触；光子晶体波导结构的输入端与光源相连，输出端与信号解调模块相连；/n移动硅基部件，其一端位于光子晶体波导结构的中间空气介质层的中心位置，另一端连接在硅微质量块的顶端中心位置；在外界二分量加速度作用下，梯形结构的蛇形悬臂梁使得硅微质量块带动移动硅基部件同时沿水平方向和垂直方向振动，进而同时改变透射光信号的波长和光强，再由信号解调模块解调出水平方向和垂直方向的加速度信号。/n
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