[发明专利]用于制造单晶金刚石的微波等离子体反应器及其扩散装置有效
| 申请号： | 201910866487.4 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110468449B | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 马付根;江南;宋茜茜 | 申请（专利权）人： | 宁波晨鑫维克工业科技有限公司;安徽晨鑫维克工业科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/04 | 分类号： | C30B29/04;C30B25/00;C23C16/27;C23C16/517;C23C16/455;C23C16/46 |
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| 地址： | 315200 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于制造单晶金刚石的微波等离子体反应器及其扩散装置，扩散基座，具有呈锥状的壁体，壁体的上沿设置有第一法兰盘，壁体的下沿设置有与第一法兰盘相平行的第二法兰盘；壁体在其内部围合形成一扩散口，扩散口的横截面面积由第一法兰盘向第二法兰盘方向逐步增大；进气管组，包括至少两根绕扩散基座轴线周向均布的进气管；以及，介质玻璃，卡设于第一法兰盘内且将扩散口的上方所封闭；其中，壁体上还开设有沿轴线周向均布的若干气孔，进气管所带入的气体通过气孔引入至扩散口内，通过设置呈锥状的扩散基座，引导微波保持以均一且稳定的椭球等势面分布于籽晶的周围，为籽晶的生长提供较好的环境，提高籽晶的生长质量。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制造 金刚石 微波 等离子体 反应器 及其 扩散 装置 | ||
【主权项】：
1.一种扩散装置，其特征在于，包括：/n扩散基座（10），具有呈锥状的壁体（11），所述壁体（11）的上沿设置有第一法兰盘（12），壁体（11）的下沿设置有与第一法兰盘（12）相平行的第二法兰盘（13）；所述壁体（11）在其内部围合形成一扩散口（14），所述扩散口（14）的横截面面积由第一法兰盘（12）向第二法兰盘（13）方向逐步增大；/n进气管（20）组，包括至少两根绕扩散基座（10）轴线周向均布的进气管（20）；以及，/n介质玻璃（30），卡设于第一法兰盘（12）内且将扩散口（14）的上方所封闭；/n其中，所述壁体（11）上还开设有沿轴线周向均布的若干气孔（111），进气管（20）所带入的气体通过气孔（111）引入至扩散口（14）内。/n
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