[发明专利]一种线型微机械双向扭转镜阵列及其制作方法有效
| 申请号： | 201910867258.4 | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110632754B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 虞益挺;肖星辰;董雪;潘一宁;苑伟政 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08 |
| 代理公司： | 北京天达知识产权代理事务所有限公司 11386 | 代理人： | 丛洪杰 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种线型微机械双向扭转镜阵列及其制作方法，属于微光机电系统领域。该阵列的每组微镜单元主要包括一个镀有金属反射层8的微镜反射梁6和一个扭转支点3，两者形成为一体化结构，扭转支点3置于反射梁6下方的中线位置处，且贯穿整个微镜反射梁6的长度方向；微镜反射梁6通过其两端的微镜支撑结构9置于基底1上，且所述扭转支点3与基底1之间存在间隙。该扭转镜阵列可实现单一维度的偏转角度双向连续变化,具有高镜面填充率，工艺流程简单，其扭转支点与微镜反射梁一体化结构，提高了微镜单元偏转角度和偏转均匀性，保证了入射光线与法线所决定的平面与反射镜元阵列方向平行，改善了微镜在光学系统中的光场匹配特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线型 微机 双向 扭转 阵列 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种线型微机械双向扭转镜阵列，其特征在于，主要包括基底1和置于基底1上的N组微镜单元，每组微镜单元主要包括一个微镜反射梁6和一个扭转支点3，所述扭转支点3置于反射梁6下方的中线位置处，且贯穿整个微镜反射梁6的长度方向；所述微镜反射梁6和扭转支点3为一体化结构，通过微镜反射梁6两端的微镜支撑结构9与锚点10相连，使得所述微镜单元悬置于基底1上；且所述扭转支点3与基底1之间存在间隙；微镜反射梁6上镀有金属反射层8。/n由于每组微镜单元的反射梁6均被扭转支点3沿宽度方向分为两部分，基底1上与上述每组微镜单元两部分对应位置处分别布有第一下电极2和第二下电极4；第一下电极2与相应的反射梁6之间施加有第一驱动电压源5，第二下电极4与相应的反射梁6之间施加有第二驱动电压源7；所述第一驱动电压源5或第二驱动电压源7提供每组微镜单元双向扭转时所需要的驱动电压。/n
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