[发明专利]具有改进的性能的多电子束成像设备在审
| 申请号： | 201910870096.X | 申请日： | 2019-09-12 |
| 公开（公告）号： | CN110911259A | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | A.穆罕默迪-葛黑达日;P.C.蒂耶梅哲;E.R.柯耶夫特;G.N.A.范韦恩 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/12 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 周学斌;刘春元 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种电子束成像设备，其包括：‑样本固持器，所述样本固持器用于固持样本；‑电子源，所述电子源用于产生前体电子束；‑孔板，所述孔板包括孔阵列，所述孔阵列用于从所述前体电子束产生电子束阵列；‑电子束柱，所述电子束柱用于将所述电子束阵列引导到所述样本上，其中所述电子束柱被配置成具有小于300mm的长度L。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 改进 性能 电子束 成像 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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