[发明专利]电感耦合等离子体处理装置及其点火控制方法在审
| 申请号： | 201910870691.3 | 申请日： | 2019-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN112509899A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 赵馗;关晓龙;倪图强 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张静 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电感耦合等离子体处理装置的点火控制方法，所述装置具有真空处理腔、射频功率源以及偏置功率源，所述射频功率源通过电感耦合线圈将射频信号耦合到所述真空处理腔内，所述偏置功率源通过射频匹配网络将偏压信号施加到所述真空处理腔内部的基座上，所述基座用于支撑待处理基片；所述方法包括：获取控制指令；所述偏置功率源执行所述控制指令，产生所述偏压信号；其中，所述偏压信号为脉冲电压，用于与所述射频信号共同进行等离子体点火。应用本发明提供的方法，通过控制射频功率源和偏置功率源的开启时间，以及调整偏置功率源的脉冲电压的占空比和电压大小，在实现高效点火的同时，还可以实现对等离子体的均匀加速。 | ||
| 搜索关键词： | 电感 耦合 等离子体 处理 装置 及其 点火 控制 方法 | ||
【主权项】：
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