[发明专利]刀具表面多元多层涂层制备方法在审
| 申请号： | 201910871461.9 | 申请日： | 2019-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN110408903A | 公开（公告）日： | 2019-11-05 |
| 发明（设计）人： | 卢帅;王砚军;孟德章;高鹏远 | 申请（专利权）人： | 济南大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 济南誉丰专利代理事务所(普通合伙企业) 37240 | 代理人： | 赵凤 |
| 地址： | 250022 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种刀具表面涂层的制备方法，其包括以下步骤：（1）将给定配比的钛粉末和铝粉末混合均匀，制成TiAl靶材；（2）制备纯度99.99%的Cr靶材和Si靶材；（3）对清洁后的刀具表面进行打磨、抛光、超声波清洗处理；（4）采用磁控溅射工艺三靶材溅射刀具表面；（5）在真空室下冷却一段时间（防止涂层氧化开裂）取出刀具；（6）依据本发明的制备方法所制备涂层具有硬度高、高耐磨、抗氧化而且自体无污染。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 刀具表面 靶材 磁控溅射工艺 超声波清洗 多层涂层 抛光 高耐磨 抗氧化 铝粉末 真空室 钛粉末 溅射 配比 自体 打磨 刀具 冷却 取出 清洁 | ||
【主权项】：
1.一种带有TiAlSiCrN涂层的硬质合金刀具制备包括基体砂纸打磨、抛光机抛光、超声波清洗、烘干处理—靶材、基体放入磁控溅射真空室—真空室抽真空—靶材溅射清洗—涂层制备—真空冷却—出炉。
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