[发明专利]一种用于扩散炉的称重恒温槽及其参数自动调整方法有效
| 申请号： | 201910873694.2 | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN110531796B | 公开（公告）日： | 2020-12-11 |
| 发明（设计）人： | 田杰成;徐有根 | 申请（专利权）人： | 湖南艾科威智能装备有限公司 |
| 主分类号： | G05D21/02 | 分类号： | G05D21/02 |
| 代理公司： | 长沙心智力知识产权代理事务所(普通合伙) 43233 | 代理人： | 谢如意 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市望城经济技术开*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种用于扩散炉的称重恒温槽，包括对源液冷却控温的温控平台、罩设在所述温控平台上方的隔热外壳，以及设置在所述温控平台上方且用于放置源液的源瓶托盘，所述源瓶托盘上设有用于实时计算源液重量的称重单元，所述称重单元连接有总控制器，所述总控制器通讯连接有气流通量单元，所述总控制器根据所述称重单元得到的源液重量，计算所述气流通量单元的氧气需求量和所述温控平台的制冷条件；采用自动计算降温时长，确定温度控制单元的工作时间，同时自动计算氧气的需求量，自动确定氧气管道通入扩散炉的流量，提高设备的稼动率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 扩散 称重 恒温槽 及其 参数 自动 调整 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于扩散炉的称重恒温槽，其特征在于：包括对源液冷却控温的温控平台(1)、罩设在所述温控平台上方的隔热外壳(2)，以及设置在所述温控平台(1)上方且用于放置源液的源瓶托盘(3)，所述源瓶托盘(3)上设有用于实时计算源液重量的称重单元(4)，所述称重单元(4)连接有总控制器(5)，所述总控制器(5)通讯连接有气流通量单元(6)，所述总控制器(5)根据所述称重单元(4)得到的源液重量，计算所述气流通量单元(6)的氧气需求量和所述温控平台(1)的制冷条件。/n
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