[发明专利]异形碲锌镉晶片轮廓修磨倒角方法有效

专利信息
申请号: 201910874136.8 申请日: 2019-09-17
公开(公告)号: CN110722406B 公开(公告)日: 2021-04-20
发明(设计)人: 赵忠志;肖方生;马世杰;岳军;姜志艳;范新丽;任云星;康冬妮 申请(专利权)人: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)
主分类号: B24B1/00 分类号: B24B1/00;B24B37/00;B24B37/005;B24B37/27;B24B37/34;B24B41/02;B24B47/12;B24B49/12;B24B51/00
代理公司: 山西华炬律师事务所 14106 代理人: 陈奇
地址: 030024 *** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明公开了一种异形碲锌镉晶片轮廓修磨倒角方法,在异形碲锌镉晶片修磨倒角工艺过程中存在的研磨工序耗时长和生产效率低的技术问题。本发明通过大量工艺试验,得到研磨碲锌镉晶片的进给量与崩边长度的关系,从而求取一个最优解,在研磨外圈的时候,每次进给量1.5毫米,研磨中间两圈的时候每次进给0.8毫米,研磨最内两圈的时候每次进给0.5毫米,这样就可以减少研磨的圈数,提高研磨效率;在研磨每一圈的时候,通过视觉系统进行分析处理,计算出砂轮与产品哪些地方能够接触,哪些地方不能够接触,不能够接触到的地方就控制研磨系统快速旋转,即将到达接触的地方时提前减速,这样就提高了研磨的效率,同时保证了研磨的质量。
搜索关键词: 异形 碲锌镉 晶片 轮廓 倒角 方法
【主权项】:
1.一种异形碲锌镉晶片轮廓修磨倒角方法,当修磨倒角机,沿计算机设计好的修磨倒角轮廓轨迹,对异形碲锌镉晶片进行修磨倒角时,是由外向内逐层修磨倒角的,是经历5个完整圈的修磨的,其特征在于以下步骤:/n(1)在研磨外圈的时候,研磨进给量为1.5毫米;研磨中间两圈时,每圈的研磨进给量是0.8毫米;研磨最内两圈的时,每圈的研磨进给量是0.5毫米;/n(2)在研磨每一圈的时候,在旋转吸盘(12)上吸附的异形晶片所行进的修磨倒角轮廓轨迹与异形晶片外轮廓不重合处,计算机控制X向丝杠导轨副(1)和Y向丝杠导轨副(2),以高于研磨行进速度的行进速度移动,在旋转吸盘(12)上吸附的异形晶片所行进的修磨倒角轮廓轨迹与异形晶片外轮廓重合处,计算机控制X向丝杠导轨副(1)和Y向丝杠导轨副(2),以研磨行进速度的行进速度移动。/n
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