[发明专利]振动网式雾化器及其制作方法有效
申请号: | 201910875321.9 | 申请日: | 2019-09-17 |
公开(公告)号: | CN112517308B | 公开(公告)日: | 2022-04-01 |
发明(设计)人: | 钱波;李令英;张贝贝 | 申请(专利权)人: | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
主分类号: | B05B17/06 | 分类号: | B05B17/06;B29D28/00 |
代理公司: | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人: | 孙伟峰 |
地址: | 215123 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开一种振动网式雾化器及其制作方法。所述制作方法包括:制作网孔模板,其中所述网孔模板具有凸柱阵列;在所述网孔模板上旋涂网孔材料以形成网孔结构层,所述网孔结构层覆盖所述网孔模板的表面和所述凸柱阵列;刻蚀所述网孔结构层直至暴露出所述凸柱阵列;去除所述网孔模板,以获得振动膜片,其中所述振动膜片的与所述凸柱阵列正对的位置形成若干网孔。上述振动网式雾化器可以实现从低粘度到高粘度液体的常温雾化,且雾化充分、雾化液滴体积小、流量大,网孔表面平整、坚固又易于清洗,同时该制作方法工艺稳定、易于重复。 | ||
搜索关键词: | 振动 雾化器 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
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