[发明专利]一种合晶硅材料生产废水资源化利用处理工艺有效
| 申请号： | 201910876874.6 | 申请日： | 2019-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN110526513B | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 张伟东;关罡;郑研;薛原;张新军;申素岭;李军记 | 申请（专利权）人： | 郑州大学综合设计研究院有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/14 | 分类号： | C02F9/14;C02F101/14;C02F101/30;C02F103/34 |
| 代理公司： | 郑州优盾知识产权代理有限公司 41125 | 代理人： | 张志军 |
| 地址： | 450000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种合晶硅材料生产废水资源化利用处理工艺，针对合晶硅材料生产废水的水质特点（其水量较大且分部不均、污染物较多、污水的来源较多），采用电氧化和超声高级氧化，去除COD和有机物，采用超滤系统回收硅粉，通过添加CaCl |
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| 搜索关键词： | 一种 合晶硅 材料 生产 废水 资源 利用 处理 工艺 | ||
【主权项】：
1.一种合晶硅材料生产废水资源化利用处理工艺，其特征在于包括以下步骤：/n（1）硅片脱胶、研磨、抛光废水经过电氧化和超声高级氧化，去除COD和有机物，然后进入超滤系统回收硅粉，剩余清液进入脱盐系统；/n（2）硅棒切割、磨削、切片清洗、倒角、清洗废水进入超滤系统回收硅粉，然后添加CaCl2除氟后再次进入超滤系统去除生成的沉淀CaF2，剩余清液进入脱氮系统；/n（3）硅片研磨后清洗、酸蚀废水直接加CaCl2除氟后进入生化处理系统去除COD，然后进入超滤系统去除生成的沉淀CaF2，剩余清液进入脱氮系统；/n（4）硅片酸蚀淋洗塔废水进入酸回收系统回收酸后，进入超滤系统回收硅粉，然后添加CaCl2除氟，再次进入超滤系统去除生成的沉淀CaF2，剩余清液进入脱氮系统；/n（5）步骤（2）~（4）的脱氮系统采用膜分离技术脱氮后进入脱盐系统；/n（6）步骤（1）和（5）的脱盐系统采用反渗透脱盐后进行DTRO超高压反渗透浓缩，制得的纯水回用，浓水蒸发脱盐。/n
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