[发明专利]一种基于FFU的无尘间洁净度闭环控制系统有效
| 申请号： | 201910878608.7 | 申请日： | 2019-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN110513843B | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 陈康平;吴礼智;曾勇恒 | 申请（专利权）人： | 广东钜宏科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F24F11/64 | 分类号： | F24F11/64;F24F11/61;F24F11/77;F24F11/39;F24F11/52;F24F11/88 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区西*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于FFU的无尘间洁净度闭环控制系统，涉及无尘加工辅助设备的技术领域，其包括粒子计数器，设置于无尘间内，用于检测无尘间空气中的粉尘颗粒浓度并输出颗粒浓度信号V1；上位机，与粒子计数器电连接，用于接收颗粒浓度信号并与预设值进行对比，且当颗粒浓度信号与预设值产生差值时上位机输出控制信号V2；控制器，设置于无尘间内，与上位机电连接且与风机电连接，用于接收并响应控制信号V2以控制风机转速升高。本发明具有减少洁净度无法满足要求的情况的出现时间从而避免产生相关设备损耗或者产品不良率升高的情况的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 ffu 无尘间 洁净 闭环 控制系统 | ||
【主权项】：
1.一种基于FFU的无尘间洁净度闭环控制系统，其特征在于：包括：/n粒子计数器，设置于无尘间内，用于检测无尘间空气中的粉尘颗粒浓度并输出颗粒浓度信号V1；/n上位机，与粒子计数器电连接，用于接收颗粒浓度信号并与预设值进行对比，且当颗粒浓度信号与预设值产生差值时上位机输出控制信号V2；/n控制器，设置于无尘间内，与上位机电连接且与风机电连接，用于接收并响应控制信号V2以控制风机转速升高。/n
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