[发明专利]矩形基板的磨削方法在审
| 申请号： | 201910879191.6 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN110977754A | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 山本敬祐;山下真司;宫本弘树 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/30;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 乔婉;于靖帅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 提供矩形基板的磨削方法，即使不进行复杂的控制也能够将磨削后的厚度偏差抑制得较小。该矩形基板的磨削方法具有如下步骤：通过安装于旋转的主轴(21)的磨具(24a)对工作台(3)的与矩形基板(W)为相同形状的矩形的保持面(31a)进行磨削，根据由于矩形保持面的边或对角线长度不同所引起的磨具的磨削面积的变化将工作台保持面形成为弯曲面；将矩形基板保持在磨削后的工作台保持面上；通过磨具对工作台保持面上所保持的矩形基板的背面(Wb)在弯曲面的状态下进行磨削，在保持面磨削步骤中在具有与矩形基板为相同形状的矩形保持面的工作台的保持面上同样地形成因矩形基板磨削时所产生的磨削面积差异所引起的矩形基板背面的弯曲，从而提高磨削后的矩形基板的厚度精度。 | ||
| 搜索关键词： | 矩形 磨削 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社迪思科，未经株式会社迪思科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910879191.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：功率放大电路以及功率放大器
- 下一篇：自动二轮车的把手开关
