[发明专利]一种微型膜片式光纤端部FP压力传感器、制作方法及应用有效
| 申请号： | 201910880584.9 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN110487454B | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 荆振国;彭伟;刘悦莹;刘强;李昂 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | G02B6/255 | 分类号： | G02B6/255;G01L1/24;G01L11/02 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 温福雪;侯明远 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种微型膜片式光纤端部FP压力传感器、制作方法及应用。一种微型膜片式光纤端部FP压力传感器，包括光纤、空芯光纤和压力敏感膜片，光纤和空芯光纤等直径，二者通过电弧熔接；利用氢氧催化键合的方法将压力敏感膜片键合在空芯光纤的端面。本发明不仅可以实现传感器整体全石英结构，还使各元件结合处不存在有机聚合物，具有极高的长期稳定性与热稳定性。同时该制作方法提高了传感器的适用范围及使用寿命，也降低了制造成本。本发明可应用于高温、高压、强腐蚀等极端环境下对于压力、声波等参数的监测，也可以应用于医疗临床领域人体内空间受限情况下的压力测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 膜片 光纤 fp 压力传感器 制作方法 应用 | ||
【主权项】：
1.一种微型膜片式光纤端部FP压力传感器，其特征在于，所述的微型膜片式光纤端部FP压力传感器包括光纤(1)、空芯光纤(4)和压力敏感膜片(3)，光纤(1)和空芯光纤(4)等直径，二者通过电弧熔接；利用氢氧催化键合的方法将压力敏感膜片(3)键合在空芯光纤(4)的端面；/n空芯光纤(4)的内径为30～100μm，长度为10～1000μm；/n压力敏感膜片(3)的厚度为0.1～100μm。/n
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