[发明专利]适用于生产二代高温超导带材的工艺方法在审
| 申请号： | 201910882127.3 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN110629177A | 公开（公告）日： | 2019-12-31 |
| 发明（设计）人： | 陈思侃;程春生;朱佳敏;赵跃;常同旭;姚林朋;洪智勇;丁逸珺 | 申请（专利权）人： | 上海超导科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/14;C23C14/58 |
| 代理公司： | 31334 上海段和段律师事务所 | 代理人： | 李佳俊;郭国中 |
| 地址： | 201207 上海市浦东新区自由*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种适用于生产二代高温超导带材的工艺方法，首先利用直流磁控溅射技术在带有双轴织构缓冲层的基带上镀覆金属混合物前驱膜，然后对金属混合物前驱膜进行两段氧分压差分退火工艺处理，在第一段形成液态的陶瓷膜层，在第二段外延生长成为具有低温超导效应的超导膜层。本发明中金属混合物前体膜通过直流磁控溅射的方案实现，具有低成本优势，并可提高膜层结合力，避免金属膜分层问题；两段氧分压差分退火可以快速外延形成超导层，避免了长时间高温退火导致的生产效率低下的问题，且工艺控制更加简单易行。 | ||
| 搜索关键词： | 直流磁控溅射 金属混合物 前驱膜 氧分压 两段 高温超导带材 退火 膜层结合力 超导膜层 低温超导 镀覆金属 高温退火 工艺控制 生产效率 双轴织构 陶瓷膜层 退火工艺 外延生长 混合物 超导层 低成本 缓冲层 金属膜 前体膜 分层 基带 生产 | ||
【主权项】：
1.一种适用于生产二代高温超导带材的工艺方法，其特征在于，包括以下步骤：/n首先，将带有双轴织构缓冲层的基带上沉积金属混合物前驱膜，然后，对所述沉积金属混合物前驱膜的带材进行热处理；/n其中，所述沉积，首先利用直流磁控溅射，在带有双轴织构缓冲层的基带上镀覆金属混合物前驱膜；/n所述热处理，是对金属混合物前驱膜进行两段氧分压差分退火处理，在第一段氧分压差分退火处理中形成液态的陶瓷膜层，在第二段氧分压差分退火处理中外延生长成为具有低温超导效应的超导膜层。/n
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