[发明专利]高光电性功能的图案化光电基板、发光二极管及其制作方法在审

专利信息
申请号: 201910882772.5 申请日: 2019-09-18
公开(公告)号: CN111430509A 公开(公告)日: 2020-07-17
发明(设计)人: 柯文政;凃益儒;何嘉哲;洪福益 申请(专利权)人: 中国砂轮企业股份有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L33/22;H01L33/12
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 王玉双;高龙鑫
地址: 中国台湾新*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明提供了一种高光电性功能的图案化光电基板的制作方法,包括:提供基板;蚀刻基板表面,以形成第一图案化结构及间隔区域;形成二金属层在第一图案化结构及间隔区域表面;形成第二图案化结构在第一图案化结构上及间隔区域上方的其中一者或两者;蚀刻第二图案化结构,以向下延伸至基板部分表面;使间隔区域形成平坦面;移除金属层,以形成具有第一图案化结构、第二图案化结构以及具有平坦的间隔区域的基板。此外,本发明还提供通过上述方法制作的高光电性功能的图案化光电基板,以及具有该基板的发光二极管。
搜索关键词: 光电 性功能 图案 发光二极管 及其 制作方法
【主权项】:
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