[发明专利]有源矩阵基板及其制造方法、液晶显示装置的制造方法

摘要

一种有源矩阵基板的制造方法，包含如下工序：在基板上形成氧化物半导体层、栅极绝缘层及栅极电极；形成具有源极侧开口部和漏极侧开口部的绝缘层；在源极侧开口部内形成源极电极，在漏极侧开口部内形成漏极电极；形成具有第1接触孔的层间绝缘层；在层间绝缘层上和第1接触孔内形成第1透明导电膜；在第1透明导电膜的一部分上使用金属膜形成上部配线部；进行第1透明导电膜的图案化，由此形成像素电极和下部配线部；形成具有第2接触孔的电介质层；以及在电介质层上和第2接触孔内形成共用电极，在从基板的法线方向观看时，第1接触孔的底面与漏极侧开口部的底面至少部分重叠，第2接触孔的底面与源极侧开口部的底面至少部分重叠。