[发明专利]一种以声波作为动能的晶圆清洗装置在审
| 申请号： | 201910884890.X | 申请日： | 2019-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN110756513A | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 丁高生;李杰;葛林海;赵建龙;王利强 | 申请（专利权）人： | 上海提牛机电设备有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 31105 上海智力专利商标事务所(普通合伙) | 代理人： | 周涛 |
| 地址： | 201405 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种以声波作为动能的晶圆清洗装置，所述清洗装置包括：清洗槽，所述清洗槽内承有清洗液体，所述清洗槽的底部与水平面成预定角度，所述预定角度不大于30°；传递槽，所述传递槽设置在所述清洗槽的下方，所述传递槽内承有液体介质，所述清洗槽的底部与所述液体介质接触；声波发生器，所述声波发生器设置在所述传递槽的下方，所述声波发生器产生的声波朝向上方，经过所述传递槽进入所述清洗槽中；以及固定架，所述固定架上设置有用来放置多个晶圆的晶圆容置器，所述晶圆容置器探入所述清洗液体内，使得所述晶圆沉浸在所述清洗液体内。本发明的有益效果为提高晶圆清洗的洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗槽 传递槽 晶圆 声波发生器 声波 液体介质 固定架 清洗液 容置器 体内 晶圆清洗装置 晶圆清洗 清洗装置 洁净度 动能 探入 清洗 沉浸 | ||
【主权项】：
1.一种以声波作为动能的晶圆清洗装置，其特征在于，所述清洗装置包括：/n清洗槽（1），所述清洗槽（1）内承有清洗液体，所述清洗槽（1）的底部与水平面成预定角度，所述预定角度不大于30°；/n传递槽（2），所述传递槽（2）设置在所述清洗槽（1）的下方，所述传递槽（2）内承有液体介质，所述清洗槽（1）的底部与所述液体介质接触；/n声波发生器（3），所述声波发生器（3）设置在所述传递槽（2）的下方，所述声波发生器（3）产生的声波朝向上方，经过所述传递槽（2）进入所述清洗槽（1）中；以及/n固定架（4），所述固定架（4）上设置有用来放置多个晶圆的晶圆容置器（5），所述晶圆容置器（5）探入所述清洗液体内，使得所述晶圆沉浸在所述清洗液体内。/n
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