[发明专利]晶棒治具及晶棒研磨方法在审

专利信息
申请号: 201910885512.3 申请日: 2019-09-19
公开(公告)号: CN110509132A 公开(公告)日: 2019-11-29
发明(设计)人: 苏双图;张洁;林武庆;赖柏帆 申请(专利权)人: 福建北电新材料科技有限公司
主分类号: B24B7/16 分类号: B24B7/16;B24B7/22;B24B41/06;B24B41/02;B24B53/06
代理公司: 11646 北京超成律师事务所 代理人: 陈治位<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址: 362200 福建省泉州*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明提供了一种晶棒治具及晶棒研磨方法,涉及晶棒研磨相关设备的技术领域,该晶棒治具包括底座,底座上设置有多个高度调节机构,每个高度调节机构的一端设置有安装部,安装部用于安装晶棒。本发明通过在底座上设置多个高度调节机构,且多个高度调节机构能够对其各自的安装部的高度进行调节,相应的,可通过调节每个高度调节机构使得安装部上的晶棒的端面处于同一高度,如此,可将多根晶棒的端面同时与砂轮研磨面调整到合适位置,因此在端面研磨机上,进行一次治具的安装后,可进行多根晶棒的研磨,提高了端面研磨机的磨削效率。
搜索关键词: 晶棒 高度调节机构 研磨 治具 底座 端面研磨机 端面研磨 合适位置 砂轮研磨 一端设置 磨削 种晶
【主权项】:
1.一种晶棒治具,其特征在于,包括底座,所述底座上设置有多个高度调节机构,每个所述高度调节机构的一端设置有安装部,所述安装部用于安装晶棒,所述高度调节机构用于调节所述安装部相对所述底座的高度,以使多个所述安装部上安装的晶棒的端面处于同一高度。/n
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