[发明专利]一种液口距定位装置、方法及单晶炉有效
| 申请号： | 201910888017.8 | 申请日： | 2019-09-19 |
| 公开（公告）号： | CN110552059B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 李小龙;李强;涂准 | 申请（专利权）人： | 宁夏隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/20 | 分类号： | C30B15/20;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京润泽恒知识产权代理有限公司 11319 | 代理人： | 莎日娜 |
| 地址： | 755199 宁夏回*** | 国省代码： | 宁夏;64 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种液口距定位装置、方法及单晶炉，所述液口距定位装置，设置于单晶炉内，通过发射器发出的光束经过反射器反射与定位孔重合时，定位重锤至初始位置，控制重锤下降预设距离，以使重锤到达目标位置，调节坩埚的位置，以使硅液液面与定位件下沿接触，此时硅液液面到热屏下沿的距离为预设液口距，从而达到定位液口距的目的，本发明实施例提供的液口距定位装置，通过控制重锤下降的距离来确定液口距，液口距定位的精度高，减少拉晶过程中晶体断线的概率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液口距 定位 装置 方法 单晶炉 | ||
【主权项】：
1.一种液口距定位装置，设置于单晶炉内，所述单晶炉包括：壳体、热屏和盛有硅液的坩埚，所述热屏位于所述硅液的上方，其特征在于，所述液口距定位装置包括：固定块、发射器、牵引绳、重锤、反射器和处理器；其中，/n所述固定块固定在所述壳体上，所述发射器固定在所述固定块的一侧，所述牵引绳的一端与所述固定块可伸缩连接，所述牵引绳的另一端与所述重锤连接，所述重锤的下端设置有定位件；/n所述反射器设置在所述重锤上，所述反射器的反射面与所述发射器发射的光束承预设夹角；/n所述热屏上设置有定位孔；/n所述处理器用于，调节所述重锤至初始位置，其中，所述初始位置指的是，所述发射器发出的光束经过所述反射器反射与所述定位孔重合时的位置；所述处理器还用于，控制所述重锤下降预设距离，以使所述重锤到达目标位置，其中，所述目标位置指的是，所述定位件下沿低于所述热屏下沿预设液口距的距离；所述处理器还用于，调节所述坩埚的位置，以使所述硅液液面与所述定位件下沿接触。/n
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