[发明专利]一种激光剥蚀样品靶基底在审
| 申请号： | 201910890707.7 | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN110736657A | 公开（公告）日： | 2020-01-31 |
| 发明（设计）人： | 童文骏;李亮;高剑峰 | 申请（专利权）人： | 南京聚谱检测科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/44 | 分类号： | G01N1/44 |
| 代理公司： | 32341 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 沈振涛 |
| 地址： | 210000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种激光剥蚀样品靶基底，包括绝热壳体(1)、设于绝热壳体(1)内的加热夹层(2)、设于加热夹层(2)内的样品池层(3)；所述加热夹层(2)内设有电加热装置(8)；所述样品池层(3)内设有一组样品池(4)，所述样品池(4)的底部设有一组互相连接的通气管(5)、顶部设有一组互相连接的气溶胶通道(6)，所述样品池(4)内通过弹簧(9)连接有靶座(10)；所述绝热壳体(1)、加热夹层(2)的顶部和底部且位于样品池层(3)的中心位置处为通孔，通孔内设有玻璃窗(7)。本发明提供的激光剥蚀样品靶基底一方面底部设有弹簧，便于调节，适用于不同尺寸的样品，另一方面通过绝热层和加热层保证了样品靶基底内的温度基本恒定，保证了检测环境稳定，同时，靶座采用特殊材料制得，散热性好，避免靶座附近过热而其他位置温度较低，大大提高了检测结果的准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 样品池 加热夹层 绝热壳体 靶基 靶座 互相连接 剥蚀 弹簧 通孔 激光 电加热装置 气溶胶通道 中心位置处 环境稳定 基本恒定 检测结果 散热性好 准确度 加热层 绝热层 通气管 玻璃窗 过热 保证 检测 | ||
【主权项】：
1.一种激光剥蚀样品靶基底，其特征在于：包括绝热壳体(1)、设于绝热壳体(1)内的加热夹层(2)、设于加热夹层(2)内的样品池层(3)；所述加热夹层(2)内设有电加热装置(8)；所述样品池层(3)内设有一组样品池(4)，所述样品池(4)的底部设有一组互相连接的通气管(5)、顶部设有一组互相连接的气溶胶通道(6)，所述样品池(4)内通过弹簧(9)连接有靶座(10)；所述绝热壳体(1)、加热夹层(2)的顶部和底部且位于样品池层(3)的中心位置处为通孔，通孔内设有玻璃窗(7)。/n
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