[发明专利]半导体装置在审
| 申请号： | 201910894128.X | 申请日： | 2019-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN110955116A | 公开（公告）日： | 2020-04-03 |
| 发明（设计）人： | 谢馥骏;林志哲;苏倍毅 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本揭露描述一种半导体装置。此半导体装置包含用以固持基板的吸盘、围绕吸盘的排放杯、以及侦测模组。排放杯用以捕获从基板喷洒的化学物质。侦测模组设置于排放杯与吸盘之间的空间中，且用以监测排放杯的多个侧壁。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 装置 | ||
【主权项】：
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