[发明专利]一种新型电极结构的声表面波谐振器在审
| 申请号： | 201910896275.0 | 申请日： | 2019-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN110535451A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 王韬;汤正杰 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H9/145;H03H3/10 |
| 代理公司： | 51203 电子科技大学专利中心 | 代理人： | 闫树平<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明属于声表面波器件领域，具体为一种新型电极结构的声表面波谐振器。本发明通过加入下电极，设计优化上电极结构，上电极采用周期性等间距排列的N根矩形金属条，将矩形金属条通过金属汇流条相连通，其中N≥2。其中上电极一个周期单元只需一根矩形金属条电极，传统叉指电极结构的声表面波谐振器中一个周期单元有两根矩形金属条电极，在相同的矩形金属条电极宽度下，本发明声表面波谐振器的周期比叉指电极结构谐振器的周期小一倍，本发明可以在相同光刻线宽条件下，实现更高的谐振频率；并且能减小谐振器尺寸，增加系统的集成度。 | ||
| 搜索关键词： | 矩形金属条 电极 声表面波谐振器 叉指电极 周期单元 声表面波器件 新型电极结构 等间距排列 电极结构 结构谐振 设计优化 谐振频率 增加系统 汇流条 集成度 下电极 谐振器 光刻 减小 线宽 金属 | ||
【主权项】：
1.一种新型电极结构的声表面波谐振器，由衬底、底电极、压电薄膜以及上电极依次叠加构成，其特征在于：/n所述上电极由周期性等间距排列的N根矩形金属条电极组成，其中N≥2，矩形金属条电极通过金属汇流条相连通，上电极的一个周期单元有且只有一根矩形金属条电极；矩形金属条电极的宽度Le为25％P≤Le≤50％P，长度为10P到100P；其中P为上电极一个周期单元的长度，0.1微米≤P≤100微米。/n
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