[发明专利]一种水基环保中性清洗液在审
| 申请号： | 201910896782.4 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN110724604A | 公开（公告）日： | 2020-01-24 |
| 发明（设计）人： | 刘江华;付元涛;章小琴 | 申请（专利权）人： | 华璞微电子科技(宁波)有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/72 | 分类号： | C11D1/72;C11D3/20;C11D3/43;C11D11/00;C11D3/60;G03F7/42 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315500 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种水基环保中性清洗液，属于微电子材料用清洗液的技术领域，按重量百分比计，包括式I结构的烷基醇聚醚0.1‑25％、醇醚类溶剂0.1‑50％、醇类溶剂0.1‑25％，去离子水30‑99.7％， | ||
| 搜索关键词： | 清洗液 半导体晶圆 醇醚类溶剂 微电子材料 中性清洗液 重量百分比 醇类溶剂 去离子水 设备表面 先进封装 制造过程 烷基醇 基材 聚醚 清洗 环保 | ||
【主权项】：
1.一种水基环保中性清洗液，其特征在于，按重量百分比计，包括式I结构的烷基醇聚醚0.1-25％、醇醚类溶剂0.1-50％、醇类溶剂0.1-25％，去离子水30-99.7％，/n
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