[发明专利]一种低泡玻璃基板清洗液在审
| 申请号： | 201910896783.9 | 申请日： | 2019-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN110819468A | 公开（公告）日： | 2020-02-21 |
| 发明（设计）人： | 刘江华;付元涛;章小琴 | 申请（专利权）人： | 华璞微电子科技（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/72 | 分类号： | C11D1/72;C11D3/30;C11D3/33;C11D3/20;C11D3/04;C11D3/08;C11D3/37;C11D3/60 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315500 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
一种低泡玻璃基板清洗液，属于微电子材料领域，按重量百分比计，包括以下组分：强碱性物质1‑45％(优选3‑30％)，螯合剂0.1‑50％(优选0.5‑20％)，消泡剂0.1‑15％(优选0.2‑10％)，去离子水30‑99.3％(优选40‑98％)，式I所示结构的非离子表面活性剂0.1‑25％(优选0.2‑20％)， |
||
| 搜索关键词： | 一种 玻璃 清洗 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于华璞微电子科技（宁波）有限公司，未经华璞微电子科技（宁波）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910896783.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
