[发明专利]共轭校正检验非球面镜的光学系统及理论

摘要

本发明公开了一种共轭校正检验非球面镜的光学系统及理论。检测设备中发光点发出的光线经校正透镜成像于待检非球面镜的共轭物点；待检非球面镜将共轭物点成像于共轭像点；共轭像点作为自准校正透镜的物点，光线经自准校正透镜自准原路返回。校正透镜和自准校正透镜生成球差可校正待检非球面镜在两个共轭点生成球差。共轭前后点与前区、中区、后区三个区间是相关的，大大提高了像差校正能力；自准面位于自准校正透镜上，光线两次通过待检非球面镜；自准校正透镜位于共轭前点前，校正扁球面能力强；校正透镜与自准校正透镜光路连接，校正能力更强。共轭校正检验可实现大口径、大相对孔径甚至超大口径、超大相对孔径的非球面镜检验。

主权项

1.一种共轭校正检验非球面镜的光学系统，包括校正透镜(2)和自准校正透镜(3)，待检非球面镜(1)有两个不消球差的共轭点，即共轭后点O′和共轭前点O″，其特征在于，/n由检测设备发出的光线经校正透镜(2)后至待检非球面镜(1)反射至自准校正透镜(3)，并由自准校正透镜(3)中的镀有半透半反膜的透镜面反射回待检非球面镜(1)，再经待检非球面镜(1)反射到自准校正透镜(3)，经自准校正透镜(3)透射和校正透镜(2)透射原路回到检测设备；/n校正透镜(2)将检测设备发出的光线成像于待检非球面镜(1)的共轭后点O′或共轭前点O″上，该点作为待检非球面镜的共轭物点；待检非球面镜(1)将共轭物点成像于另一个共轭点上，该点为共轭像点；共轭前点O″和共轭后点O′共轭为物像关系点；按两个共轭点划分区间成共轭后点、共轭前点、共轭前后点之间为中区O′O″、共轭后点后为后区和共轭前点前为前区，共轭校正检验的共轭前后点和前区、中区、后区三个区间是相关的；校正透镜(2)和自准校正透镜(3)二者生成的球差校正待检非球面镜(1)在两个共轭点生成的球差；自准校正透镜(3)放置在共轭后点O′，共轭前点O″，中区、后区或前区区间；光栏位于自准校正透镜(3)的自准面上，自准面镀有半透半反膜，光线两次经过待检非球面镜(1)。/n