[发明专利]一种Mo掺杂型AlCrSiN/Mo自润滑薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201910897038.6 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN110607499A | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 王铁钢;蒙德强;刘艳梅;阎兵;许人仁;尹照星 | 申请（专利权）人： | 天津职业技术师范大学(中国职业培训指导教师进修中心) |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300222 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种Mo掺杂型AlCrSiN/Mo自润滑薄膜及其制备方法，属于薄膜及其制备技术领域。所述AlCrSiN/Mo自润滑薄膜是由Mo元素掺杂进AlCrSiN薄膜中形成，Mo元素的掺杂量为0.3～6.3at.％，该薄膜采用高功率脉冲磁控溅射技术和脉冲直流磁控镀膜技术在基体上制备而成。所制备的AlCrSiN/Mo自润滑薄膜硬度高、韧性好，具备优良的减磨特性，可以显著降低刀‑屑间的摩擦，具有较好的化学稳定性及易剪切的润滑特性。 | ||
| 搜索关键词： | 自润滑薄膜 制备 薄膜 磁控溅射技术 制备技术领域 高功率脉冲 化学稳定性 磁控镀膜 脉冲直流 润滑特性 元素掺杂 剪切 掺杂量 掺杂型 减磨 摩擦 | ||
【主权项】：
1.一种Mo掺杂型AlCrSiN/Mo自润滑薄膜，其特征在于：所述AlCrSiN/Mo自润滑薄膜是由Mo元素掺杂进AlCrSiN薄膜中形成，Mo元素的掺杂量为0.3～6.3at.％。/n
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