[发明专利]一种评估CIS产品不同机台白色像素差异的方法有效
| 申请号： | 201910897871.0 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN110646426B | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 范洋洋;徐炯 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 戴广志 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种评估CIS产品不同机台白色像素差异的方法，将数据库中以往产品的白色像素值进行等级分类并等级系数；按照不同机台在各自工艺步骤下的白色像素平均值对该机台进行相同的等级分类，该平均值对应于数据库中以往产品的白色像素值所属的等级以及等级系数；将新产品用不同工艺的机台进行多个工艺步骤完成整个工艺流程，将该新产品进行每个工艺步骤的机台对应的等级系数相加，得到该新产品的白色像素等级；对新产品进行测试，得到其白色像素值，将该白色像素值与该新产品的白色像素等级进行对应，评估CIS产品不同机台的白色像素差异。本发明可以在计算时间较短的情况下得到大量数据，时效性强并且准确率高，有助于提高产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 评估 cis 产品 不同 机台 白色 像素 差异 方法 | ||
【主权项】：
1.一种评估CIS产品不同机台白色像素差异的方法，其特征在于，该方法至少包括以下步骤：/n步骤一、将数据库中以往产品的白色像素值进行等级分类，并定义每个等级的等级系数；/n步骤二、按照不同机台在各自工艺步骤下的白色像素平均值对该机台进行与步骤一中相同的等级分类，所述机台的白色像素平均值对应于步骤一中所述数据库中以往产品的白色像素值所属的等级类别以及所述每个等级对应的等级系数；/n步骤三、将新产品利用不同工艺的所述机台进行多个工艺步骤完成整个工艺流程，将该新产品进行每个工艺步骤的机台对应的等级系数相加，得到该新产品的白色像素等级；/n步骤四、对所述新产品进行测试，得到其白色像素值，将该白色像素值与该新产品的白色像素等级进行对应，评估CIS产品不同机台的白色像素差异。/n
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