[发明专利]一种单品硅热场坩埚高效安装夹持方法在审
| 申请号： | 201910897875.9 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN110484966A | 公开（公告）日： | 2019-11-22 |
| 发明（设计）人： | 郭志宏 | 申请（专利权）人： | 大同新成新材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 11435 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 申绍中<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 037002 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单品硅热场坩埚高效安装夹持方法，包括以下步骤：S1.在干锅炉外壳体内设有固定托盘，将三组石墨坩埚托盘固定在固定托盘上，组成石墨坩埚；S2.将石英坩埚放在石墨坩埚上，通过三组石墨坩埚托盘对石英坩埚进行夹持；S3.干锅炉顶座与干锅炉外壳体通过环形固定螺栓和环形螺栓槽螺接固定；S4.开始对单品硅进行加工生产；该热场坩埚的安装和加持方法，不仅解决了原有坩埚安装调节麻烦，速度慢的问题，同时采用新的加持方式，让坩埚的安装更加便捷，出现故障时，检修更换更加方便，从而达到提高生产效率，降低维修难度，节约时间的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨坩埚 坩埚 托盘 固定托盘 锅炉外壳 石英坩埚 夹持 热场 高效安装 固定螺栓 环形螺栓 加工生产 生产效率 维修难度 锅炉顶 槽螺 检修 体内 节约 | ||
【主权项】：
1.一种单品硅热场坩埚高效安装夹持方法，其特征在于，包括以下步骤：/nS1.在干锅炉外壳体（10）内设有固定托盘（12），将三组石墨坩埚托盘（18）固定在固定托盘（12）上，组成石墨坩埚（6）；/nS2.将石英坩埚（13）放在石墨坩埚（6）上，通过三组石墨坩埚托盘（18）对石英坩埚（13）进行夹持；/nS3.干锅炉顶座（15）与干锅炉外壳体（10）通过环形固定螺栓（19）和环形螺栓槽（20）螺接固定；/nS4.开始对单品硅进行加工生产。/n
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