[发明专利]一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚及其使用方法在审
申请号: | 201910897891.8 | 申请日: | 2019-09-23 |
公开(公告)号: | CN110565162A | 公开(公告)日: | 2019-12-13 |
发明(设计)人: | 郭志宏 | 申请(专利权)人: | 大同新成新材料股份有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 11435 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人: | 申绍中 |
地址: | 037002 *** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | 本发明公开了一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚,包括保温筒顶座和保温筒外壳体,保温筒外壳体的上方设置有保温筒顶座,保温筒顶座的两端设置有固定手环,保温筒顶座的顶端设置有控制阀,控制阀的左下方设置有高温计,控制阀的右下方设置有测压口,控制阀下方位于保温筒顶座的内部设置有联轴器;本发明还公开了一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚的使用方法,该装置解决了原有热场坩埚不具有保温结构导致保温性较差的问题,同时因为增加装置的保温性,还能降低生产过程中的能源消耗问题,而且旋转式加热,不仅受热均匀,同时也减少物耗能耗,可以降低产品的生产成本,从而提高竞争力。 | ||
搜索关键词: | 保温筒 顶座 控制阀 保温结构 热场 坩埚 保温性 外壳体 多品 顶端设置 降低生产 两端设置 内部设置 能源消耗 受热均匀 物耗能耗 增加装置 测压口 高温计 固定手 联轴器 旋转式 生产成本 加热 | ||
【主权项】:
1.一种多品硅用具有保温结构的热场坩埚,包括保温筒顶座(3)和保温筒外壳体(17),其特征在于:所述保温筒外壳体(17)的上方设置有保温筒顶座(3),所述保温筒顶座(3)的两端设置有固定手环(19),所述保温筒顶座(3)的顶端中间位置处设置有控制阀(1),所述控制阀(1)的左下方设置有高温计(20),所述控制阀(1)的右下方设置有测压口(4),所述控制阀(1)的下方位于保温筒顶座(3)的内部设置有联轴器(2),所述保温筒顶座(3)与保温筒外壳体(17)的固接处设置有密封圈(5),所述保温筒外壳体(17)的底端中间位置处设置有引流口(12),所述引流口(12)的左侧设置有支撑脚(13),所述保温筒外壳体(17)的桶身外壁上端设置有导热油入口(18),所述保温筒外壳体(17)的内部设置有导热油保温层(16),所述导热油保温层(16)的内部设置有保温层(15),所述保温层(15)的内部设置有石英坩埚(10),所述石英坩埚(10)的内部设置有加热元件(8),所述加热元件(8)的内部位于联轴器(2)的下方设置有石墨坩埚(6),所述石墨坩埚(6)的下方设置有坩埚底座(7),所述坩埚底座(7)的下方设置有中心轴(11),所述中心轴(11)的左右两侧设置有固定支架(9),所述固定支架(9)的下方设置有夹持座(14),所述保温筒顶座(3)的上方设置有电机(22),所述电机(22)的下方设置有电机转轴(21),所述电机转轴(21)的下方设置有固定横梁(24),所述电机转轴(21)的底端位于固定横梁(24)的中间位置处设置有中心轴承(23),所述中心轴(11)的底端设置有轴承(25),所述保温筒顶座(3)的底端设置有顶座螺块(26),所述顶座螺块(26)的下方位于保温筒外壳体(17)的顶端位置处设置有保温筒螺槽(27),所述加热元件(8)和电机(22)均匀外部电源电性连接。/n
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