[发明专利]一种用于无掩模直写光刻的曝光光源控制系统及其工作方法在审
| 申请号： | 201910898390.1 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN110609453A | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 黄胜洲;王雷;刘有余;梁艺;尚正阳;鞠锦勇;苏永生;方明 | 申请（专利权）人： | 安徽工程大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H05B33/08 |
| 代理公司： | 32243 南京正联知识产权代理有限公司 | 代理人： | 胡定华 |
| 地址： | 24100*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于无掩模直写光刻的曝光光源控制系统及其工作方法，该控制系统主要包括UV‑LED芯片、LED恒流驱动板、脉宽调制发生器、数字微镜器件芯片、DMD控制板、开关电源、温度传感器以及相关散热部件等。通过将PWM调光技术和DMD数据控制技术相结合可以灵活实现曝光光源的有效控制，该系统克服已有无掩模直写光刻的曝光光源控制系统的不足，具有成本低、寿命长、控制精度高及灵活性等优势。 | ||
| 搜索关键词： | 控制系统 曝光光源 光刻 直写 数字微镜器件芯片 脉宽调制发生器 数据控制技术 温度传感器 开关电源 散热部件 有效控制 控制板 无掩模 掩模 灵活 | ||
【主权项】：
1.一种用于无掩模直写光刻的曝光光源控制系统，其特征在于：包括UV-LED芯片、LED恒流驱动板、脉宽调制发生器、数字微镜器件芯片和数字微镜器件控制板，所述UV-LED芯片与LED恒流驱动板正负极连接，所述脉宽调制发生器的PWM端口及GND端口与LED恒流驱动板的PWM端口及GND端口分别相连，所述脉宽调制发生器的正极与LED恒流驱动板的EN端连接，所述数字微镜器件控制板的信号输出端口连接在脉宽调制发生器的正极与LED恒流驱动板的EN端之间，所述脉宽调制发生器的地线连接在数字微镜器件控制板上，所述数字微镜器件芯片与数字微镜器件控制板连接。/n
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