[发明专利]带电粒子束装置和试样加工观察方法在审
| 申请号： | 201910898398.8 | 申请日： | 2019-09-23 |
| 公开（公告）号： | CN111081515A | 公开（公告）日： | 2020-04-28 |
| 发明（设计）人： | 铃木秀和;麻畑达也 | 申请（专利权）人： | 日本株式会社日立高新技术科学 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/28;G01N23/2251;G01N23/2202 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 黄志坚;崔成哲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供带电粒子束装置和试样加工观察方法，不用变更载台的尺寸便能够缩小电子束镜筒与试样之间的距离，从而得到高分辨率的SEM图像，并且能够得到正对试样的观察面的SEM图像。具有如下的工序：试样片形成工序，对所述试样照射聚焦离子束而从试样切出试样片；截面加工工序，利用试样片支承体对试样片进行支承，对试样片的截面照射聚焦离子束而进行截面的加工；试样片接近移动工序，利用试样片支承体对试样片进行支承，使试样片移动到比聚焦离子束的束光轴与电子束的束光轴的交点更接近电子束镜筒的位置；以及SEM图像取得工序，朝向试样片的所述截面照射电子束，从而取得截面的SEM图像。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 试样 加工 观察 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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