[发明专利]一种全氧化物铁电光电二极管及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201910899143.3 申请日: 2019-09-23
公开(公告)号: CN110690321B 公开(公告)日: 2021-07-06
发明(设计)人: 杨锋;刘芬;林延凌;季凤岐;岳炳臣 申请(专利权)人: 济南大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/032;C23C14/58;C23C14/28;C23C14/08
代理公司: 济南泉城专利商标事务所 37218 代理人: 贾波
地址: 250022 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明公开了一种全氧化物铁电光电二极管及其制备方法,其包括基底,所述基底上覆有LSMO层,所述LSMO层上覆有BFCO层,所述BFCO层上覆有ITO层。其中,所述LSMO层为外延生长的La0.7Sr0.3MnO3薄膜,所述BFCO层为外延生长的BiFe0.7Co0.3O3‑δ薄膜。本发明利用铁电极化与电极之间肖特基结区势垒的耦合作用,促进器件中光生电子空穴对的分离和高效收集,增强了光电流响应和铁电极化对二极管电流的调制性,兼具了铁电性和半导性的优点,具有大的光电流响应,且具有很好的极化可调性。
搜索关键词: 一种 氧化物 光电二极管 及其 制备 方法
【主权项】:
1.一种全氧化物铁电光电二极管,包括基底,其特征是:所述基底上覆有LSMO层,所述LSMO层上覆有BFCO层,所述BFCO层上覆有ITO层;所述LSMO层为外延生长的La
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